спасибо за подсазку
задался поиском и обнаружил описание
сканирующего туннельного микроскопа
где применяют пьезодвигатели
обязательно прочитаю полностью
за этот микроскоп получили нобелевскую премию
Однако практические трудности по разработке высокоточных двигателей для перемещения острия зонда, регистрирующих и следящих приборов, задержали появление конструкции туннельного микроскопа вплоть до конца XX столетия.
Первый прибор был создан в 1982 году сотрудниками исследовательской лаборатории фирмы IBM в Рюшликоне (Швейцария). За создание прибора Герду Биннингу (Швейцария) и Генриху Рореру (Германия) в 1986 году была присуждена Нобелевская премия [1].
http://lab.bmstu.ru/stm/Parts1/Parts3/index.htm
Пьезодвигатели
